Hendelsen fant sted ved en sikkerhetskontroll utenfor Betlehem nær den israelske bosetningsblokken Gush Etzion. Familien ga mannen skyss før han angrep dem.
– En bil som fraktet en familie med fire jenter, plukket opp en haiker, sier den israelske hæren i en uttalelse.
– Haikeren kastet syre på passasjerene og påførte dem lette skader.
LES OGSÅ: Kirken vil anerkjenne Palestina som stat
Angriperen forlot deretter bilen, men ble skutt i leggen av en sivil som var på stedet, før han ble arrestert.
Israelerne ble brakt til sykehus, og nødetatene bekrefter at familiemedlemmene fikk lettere skader.
Ifølge israelsk radio var det en mann og tre barn som ble såret i angrepet.
Hendelsen kommer samtidig som det er sterke spenninger i Jerusalem og på Vestbredden. Onsdag døde den palestinske ministeren Ziad Abu Ein kort tid etter en konfrontasjon med israelsk politimann på Vestbredden. Politimannen dyttet og tok halsgrep på ministeren under en demonstrasjon, og minutter senere fikk han pusteproblemer.
LES OGSÅ: Reagerer på jøde-anklager
En israelsk tjenestemann som har deltatt i obduksjonen av ministeren, sier at han døde av hjerteinfarkt som trolig skyldtes stress. En palestinsk patolog har imidlertid konkludert med at halsgrepet var en mer direkte årsak til hjertesvikten.